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●エレメント交換が可能なカートリッジタイプ、SFA100、200、300、SFB100に対応です。●半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ、SFB300、SFC100対応です。
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[本体質量:660g]〔包装時質量:660g〕
☆納期情報:在庫色(外紫) メーカー取り寄品(弊社より発送)
特長
●エレメント交換が可能なカートリッジタイプ、SFA100、200、300、SFB100に対応です。
●半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ、SFB300、SFC100対応です。
用途
●適合機種:SFA30002
●使用圧力(MPa):0.99
●処理空気流量([[M3]]/min):0.1
●接続口径:Rc1/4
●全長(mm):59
●カートリッジタイプ
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